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◆ 用途指南
☆ 循环净化设备是针对高污染条件下的气体净化装置。允许原气质量为70%-90%，纯气能够达到99.96%-99.9999%。
◆ 技术特点
☆ 设备系统由收集、预净化、净化、纯化等单元构成。设备处理后的Ar、He等气体可用于循环使用。
☆ 整套系统由PLC控制，可与网络联机，实现无人值守的监控。
